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內(nèi)容簡介 真空鍍膜電源,PVD鍍膜電源,HIPIMS電源,高功率電源
HIPIMS電源屬于高功率脈沖磁控濺射電源的一種,通過降低占空比到10%,在相同功率情況下,可以使得磁控濺射峰值電流大幅度的增加,HIPIMS電源可調(diào)參數(shù)多,即使在相同占空比下,針對不同靶材,其脈沖寬度,占空比,靶電壓與峰值電流都會出現(xiàn)不同的特性,想了解更多關(guān)于HIPIMS電源,記得點贊關(guān)注哦!
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